| 项目 | 规格描述 |
|---|---|
| 外形尺寸 | W1440XD1260XH2250 |
| 对应片盒 | 300mm FOUP 25pcs(SEMI E47.1)、FOSB 25 pcs(SEMI M31) or 300mm FOUP with 8’Open Cassette SEMI E47.1，E62标准品 |
| 对应晶圆 | 200mm-300mm硅片 厚度0.4-1.0 mm |
| 传片效率 | 200片/h |
| 洁净等级 | IS0 Class2(FFU使用) |
| Load Port | 2 Port |
| 重量 | 500Kg |
| 厂务 | 电源：AC220V 50HZ 干燥空气：0.5MPa±10% 真空：优于 -53KPa |
