适合各类托盘，可进行Wafer Frame的位置编程与缓存
采用高精度4/6轴机械手搭配视觉进行物料移载
下料段可缓存10片产品
兼容方形Frame 尺寸250X250mm
具备离子风刀清洁机制
UPH
>60pcs
抓铁圈/carrier方式
真空负压吸取/电爪/气缸
±0.05mm
≤250x250mm方形铁圈
离子风刀清洁，真空吸附
