采用LED灯照射进行解胶
支持Magazine和Cassette进出料
可瞬间启动，无需预热,功率可调适用于不同光强度需求
适用范围广、不会影响被解胶区域的温度及热变形
UV照射功率以及时间参数可调
适用3000mj/cm2，照射时间≤10秒
设备SECS/GEM协议 : SEMI E5、 E30、 E37、 E37.1、 E142
UV能量
>3000mj/cm2
照射波长
365mn
<60°C
250*250mm
设备尺寸
1100*550*1750mm
