| 项目 | 规格描述 |
UPH | 8k(1x1mm) |
进料晶圆尺 | 8寸(12寸兼容) |
| 出料方式 | Tray堆叠 |
| 产品尺寸 | 芯片尺寸(1*1mm~15*15mm) |
| 厚度范围 | 0.1~3mm |
| 取放精度 | ±50μm |
| 转盘取放头数量 | 24个 |
| 清洁模组 | 3组ESD毛刷 |
视觉模组 | 3组 |
| 设备尺寸 | 2000*1900*2100mm |
| 项目 | 规格描述 |
UPH | 8k(1x1mm) |
进料晶圆尺 | 8寸(12寸兼容) |
| 出料方式 | Tray堆叠 |
| 产品尺寸 | 芯片尺寸(1*1mm~15*15mm) |
| 厚度范围 | 0.1~3mm |
| 取放精度 | ±50μm |
| 转盘取放头数量 | 24个 |
| 清洁模组 | 3组ESD毛刷 |
视觉模组 | 3组 |
| 设备尺寸 | 2000*1900*2100mm |