使用视觉和影像处理进行平边Alignment
使用Tray和Coin Box装载,可以对应SECS/GEM
传送物料包括海绵垫片、光盘盘、Tray、晶图等。
读取Barcode: Cassette-Barcode Reader 晶圆-OCR
无尘等级： 100级
UPH>500, (含海绵垫片、Tray+晶图、间格片)
